특허 페이지 정보 2022-11-03 | 조회수 2 출원등록명 자기부상형 기판이송 장치 출원등록국 대한민국 출원등록번호 10-0880877 출원등록인 최상규,윤동원,함상용 성과연도 2009 특허구분 특허 목록 이전글 기판이송장치 22.11.03 다음글 고속플라이 휠에너지 저장장치의 플라이휠 고정구조 22.11.03