특허 페이지 정보 2022-11-03 | 조회수 2 출원등록명 기판이송장치 출원등록국 대한민국 출원등록번호 10-0898807 출원등록인 최상규, 손영수, 박희창, 윤동원, 박철훈 성과연도 2009 특허구분 특허 목록 이전글 자기베어링을 사용하는 회전체에서 회전체 불균형에 의한 회전체의 회전 위치오차를 보상하는 장치 및 방법 22.11.03 다음글 자기부상형 기판이송 장치 22.11.03